真空抽气系统设计的关键问题是选择真空机组的主泵,其选择条件及原则。

真空抽气系统主泵的选择条件及原则:
1)根据真空室所要求的限压力确定主泵的类型
般主泵限压力的选取要比真空室的限压力低半个到个数量。
2)根据系统进行工艺生产时所需要的工作压力选主泵
正确选择主泵的工作压力点,在其工作压力范围内,排除在真空工艺过程中产生的全部气体量,因此,系统的工作压力定要在主泵的佳抽速压力范围内。

真空抽气系统结构原理示意图
3)根据真空室的容积大小和要求的抽气时间选主泵
真空室体积大小对于系统抽到限真空的时间有定影响,当抽气的时间要求定时,真空室的体积越大,则主泵的抽速也越大。
4)若真空系统严格要求无油时,则应该选各种无油泵作为主泵
若要求不严格,可选择有油泵,然后采取些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空的要求。
5)选择真空泵时,应该知道被抽的气体成分,针对被抽气体成分选择相应的泵
如果气体中含有腐蚀性气体、颗粒灰尘等,则应该考虑选择干式真空泵或耐腐蚀真空泵等,或在泵的进气口管道上安装辅助过滤装置。








